Ko te tuku hiko ngaruiti ngaruiti he momo hou o te tuku hiko ngaruiti i runga i te hangarau hurihuri auau teitei IGBT.Ka whakauruhia e ia te tuku hiko ngaohiko teitei anode, te tuku hiko kakawaea me te tuku hiko papa autō (haunga te tuku hiko ngaruiti 3kW).Ko te magnetron ngaru e whakarato ana i nga tikanga mahi.Ka whakamahia tenei hua i roto i te MPCVD, ngaruiti plasma etching, ngaruiti plasma degumming me etahi atu mara.