Whakapae
Whiwhi matauranga me te tere i te tukanga whanaketanga.
Ka tukuna e Advanced Energy nga otinga hiko me te whakahaere mo nga tono waipara kiriata kikokore me nga hangahanga taputapu.Ki te whakaoti i nga wero tukatuka angiangi, ka taea e a maatau otinga whakawhiti hiko tika ki a koe te arotau i te tika o te hiko, te tika, te tere, me te mahi tukurua.
Ka whakaekea e matou te whānuitanga o nga iarere RF, nga punaha hiko DC, nga taumata whakaputa hiko kua whakaritea, nga hangarau rite, me nga otinga aro turuki i te pāmahana muka whatu e taea ai e koe te whakahaere pai ake i te plasma tukanga.Ka whakauruhia ano e matou te Tere DAQ ™ me o maatau kohinga raraunga me te whakaurunga ki te whakarato i te maaramatanga o te tukanga me te tere o te tukanga whanaketanga.
Ako atu ano mo a maatau mahi hangahanga semiconductor ki te rapu otinga e pai ana ki o hiahia.
To Wero
Mai i nga kiriata e whakamahia ana ki te whakatauira i nga ine ara iahiko whakauru ki nga kiriata kawe me te whakamaarama (hanganga hiko), ki nga kiriata whakarewa (honohono), me whai mana taumata-ngota-ngota o koutou tukanga tuku - kaua mo ia ahuatanga engari puta noa i te angiangi katoa.
I tua atu i te hanganga ake, me tino kounga o kiriata kua penapena.Me whiwhi i te hanganga witi e hiahiatia ana, te rite, me te matotoru riterite, me te kore-kore - he taapiri atu ki te whakarato i nga taumahatanga miihini e hiahiatia ana (te kopiri me te tensile) me nga taonga hiko.
Ko te matatini anake kei te piki haere tonu.Hei whakatika i nga herenga tuhi (sub-1X nm node), ko nga tikanga whakahiato-rua me te tapawha-a-whaiaro e hiahia ana koe ki te hanga me te whakaputa ano i te tauira ki ia angiangi.
To Tatou Rongoa
Ina tukuna e koe nga tono whakapumautanga tino nui me nga ahuahanga taputapu, me hiahia koe ki tetahi kaiarahi maakete pono.
Ko te tuku hiko RF a Advanced Energy me te hangarau whakarite tere-tere ka taea e koe te whakarite me te arotau i te tika o te hiko, te tika, te tere, me te tukurua o nga tukanga e hiahiatia ana mo nga tukanga whakahekenga PECVD me te PEALD matatau katoa.
Whakamahia a maatau hangarau whakangao DC ki te whakatika i to whakautu arc ka taea te whirihora, te tika o te hiko, te tere, me te mahi tukurua e hiahiatia ana te PVD (sputtering) me nga tukanga whakaheke ECD.
Nga painga
● Whakanuia te pumau o te plasma me te tukurua o te tukanga ka piki ake te hua
● Ko te tuku RF me te DC me te mana mamati katoa ka awhina i te arotau i te pai o te tukanga
● Te urupare tere ki nga huringa plasma me te whakahaere arc
● Ko te pulsing taumata-maha me te whakatikatika auau e pai ake ai te whiriwhiringa reiti etch
● Kei te waatea te tautoko o te ao ki te whakarite i te waa mahi me te mahi hua